適用機械種類
■ 半導體產業設備■ 低溫製程加工設備■ CMP研磨材料設備■ 實驗室低溫實驗設備■ 奈米等級電子製造及檢測設備■ 化學材料製程設備(間接冷卻恆溫控制)
特性及功能
■ 使用溫度範圍+5~-20℃(低溫限定:中低溫-10~-20℃)。■ 可針對過冷飽和溶液進行恆溫控制。■ 使用特殊材質軸封循環幫浦。■ 使用SUS304/316板式熱交換器,提升熱交換效率。■ 使用進口零件,強化使用可靠度。■ 具低溫冷凍迴路保護設計。