CS 系列 光電、半導體、太陽能設備專用冷卻機


適用機械種類

■ 高精度雷射焊接機。
■ 高科技產業薄膜製冷卻專用。
■ 各種光電、半導體及太陽能設備製程中的冷卻。
■ 需求高純度水質、高阻抗、去陰陽離子水的高科技產業設備專用冷卻。

 

特性及功能

■ 特殊 PID 溫度控制器,可使溫度保持 ± 0.2 ℃。
■ 使用高壓泵浦及迴路洩壓保護系統。
■ 使用SUS30/316板式熱交換器可提升熱交換率,維持水質純淨,不會產生銹蝕導致路阻塞故障。
■ 所使用之離子交換樹酯專用於半導體業之 DI 水,將水質導電阻抗質保持在 10MΩ 以上。
■ 採用新型高效率環保冷媒,不污染環境。